單片清洗機(jī)
單片刻蝕機(jī)

Core Technology For Single Wafer Clean

Nano-Spray技術(shù)常溫條件下，且不同的氣壓、液壓的范圍下霧滴顆粒度值在6.8-7.8um(SMD)

Nano-Spray 在確定的條件下，距離晶圓的高度不一樣，其對(duì)晶圓表面的作用力大小不一樣，最終影響到清洗的效果

晶圓在不同的轉(zhuǎn)速下，且在Nano-Spray擺動(dòng)清洗整片晶圓時(shí)一樣，會(huì)造成清洗不均勻性

每一圓徑上的線速度不一樣，Nano-Spray的擺動(dòng)的線速度不同

確認(rèn)好晶圓表面打擊力，同時(shí)把晶圓的轉(zhuǎn)速，Nano-Spray的轉(zhuǎn)速，針對(duì)每一個(gè)點(diǎn)形成一個(gè)實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)控制的閉環(huán)回路，來(lái)實(shí)現(xiàn)晶圓所有點(diǎn)的清洗均勻性

單片清洗機(jī)/單片刻蝕機(jī)

全自動(dòng)單片工藝設(shè)備

• 客制化服務(wù)，提供1/2/3/4/8腔工藝設(shè)備定制

• 90nm單片清洗設(shè)備已經(jīng)通過(guò)工藝驗(yàn)證

• 深入研究65至28nm制程的清洗技術(shù)

• 研究50-100um薄片清洗和刻蝕

• 研發(fā)伯努利真空吸盤(pán)，實(shí)現(xiàn)背面清洗和刻蝕

• 已特有的智能的動(dòng)態(tài)微控清洗技術(shù)和兆聲波清洗技術(shù)

• 8/12晶圓單片設(shè)備為主，小尺寸的為輔

• 穩(wěn)定性高，可靠性好，一致性表現(xiàn)突出

• 優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品，有競(jìng)爭(zhēng)力的價(jià)格和使用成本

1、晶圓在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，背面有一層液體膜，兆聲波通過(guò)液體膜作用于晶圓上，同時(shí)正面有液體噴在晶圓上也形成一層液體膜；

2、正面的液體對(duì)晶圓有一定的打擊力，同時(shí)兆聲波會(huì)在晶圓上形成氣穴作用，在雙重作用力的情況下對(duì)晶圓進(jìn)行清洗；

3、一種情況是背面的兆聲頻率和功率是一定的，且背面有接收兆聲功率大小的傳感器，則實(shí)時(shí)改變正面噴嘴的距離;

4、一種情況是正面噴洗的距離是一定的，且有接收兆聲功率大小的傳感器，則實(shí)時(shí)控制背面的兆聲波頻率和功率；

5、建立兆聲波氣穴作用和晶圓表面打擊力的相互作用力的清洗效率，找到均衡點(diǎn)，從而建立控制關(guān)系；

6、采用藍(lán)寶石的兆聲頭，能夠適用于各種惡劣的環(huán)境，兆聲波間接參與清洗工藝，避免造成過(guò)大的損傷。

主要優(yōu)勢(shì)

客戶特殊需求定制化服務(wù)
與客戶合力研究新工藝

智能的動(dòng)態(tài)微控清洗技術(shù)

兆聲波清洗技術(shù)

準(zhǔn)確的化學(xué)液溫度，濃度，流量等穩(wěn)定且精準(zhǔn)控制
提供多腔不同工藝的流程控制
提供多種晶圓尺寸的設(shè)備開(kāi)發(fā)